一種鍵合片分離設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201921815962.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN210925951U 公開(kāi)（公告）日 2020-07-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN210925951U 申請(qǐng)公布日 2020-07-03
分類(lèi)號(hào) H01L21/67 分類(lèi) -
發(fā)明人 安凱 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 沈陽(yáng)硅基科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京天奇智新知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 龍濤
地址 110000 遼寧省沈陽(yáng)市沈陽(yáng)出口加工區(qū)渾南東路15-22號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種鍵合片分離設(shè)備，包括機(jī)臺(tái)，所述機(jī)臺(tái)內(nèi)前部處安裝有若干結(jié)構(gòu)相同的可升降暗盒載臺(tái)，所述上真空機(jī)械手與機(jī)臺(tái)相連接，所述下真空機(jī)械手的左右兩側(cè)處安裝有一對(duì)結(jié)構(gòu)相同的紅外掃描刀具，一對(duì)所述紅外掃描刀具與機(jī)臺(tái)相連接，一對(duì)所述紅外掃描刀具與鍵合片鍵合位置相對(duì)應(yīng)，本實(shí)用新型涉及鍵合片分離技術(shù)領(lǐng)域,該鍵合片分離設(shè)備，本實(shí)用新型提供的是一種鍵合片分離裝置，它包括：用于放置暗盒的升降載臺(tái)，可實(shí)現(xiàn)帶動(dòng)暗盒上下移動(dòng)方便真空機(jī)械手臂吸取鍵合片，采用上述結(jié)構(gòu)，通過(guò)取鍵合片的真空機(jī)械手并充當(dāng)鍵合片分離載臺(tái)，帶有紅外線感應(yīng)的雙卡刀具并且可以通過(guò)調(diào)節(jié)裝置來(lái)控制靠近或遠(yuǎn)離的運(yùn)動(dòng)。