測量固體間壓力的力傳感器
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910454627.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN110044520B | 公開（公告）日 | 2021-02-26 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN110044520B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-02-26 |
| 分類號(hào) | G01L1/02(2006.01)I | 分類 | 測量；測試; |
| 發(fā)明人 | 柳俊文;史曉晶 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 南京元感微電子有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京中知法苑知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 趙吉陽;李明 |
| 地址 | 210032江蘇省南京市浦口區(qū)高新技術(shù)開發(fā)區(qū)星火路17號(hào)創(chuàng)智大廈B座6樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種測量固體間壓力的力傳感器，包括沿其厚度方向相對(duì)設(shè)置的第一表面和第二表面，第一表面用于接收待測量的壓力，第二表面上設(shè)置有液體腔，液體腔呈柱狀結(jié)構(gòu)；膜片，位于第二表面并密封液體腔，并承載液體腔內(nèi)的液體壓力，并在液體腔上的正投影落在液體腔外側(cè)；測壓芯片，與液體腔連通，并位于液體腔沿其徑向方向的中部區(qū)域處，以測量液體腔內(nèi)的液體壓力信號(hào)；芯片基板，承載測壓芯片；信號(hào)處理器，以處理測壓芯片測量到的液體腔內(nèi)的液體壓力信號(hào)并輸出。本發(fā)明可以實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確且實(shí)時(shí)的測量壓力，另外，采用測壓芯片直接測量液體腔內(nèi)的液體壓力信號(hào)，可以縮小力傳感器的尺寸，并提高力傳感器測量固體間壓力的準(zhǔn)確度。?? |
