測量固體間壓力的力傳感器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910454746.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN110044521A 公開（公告）日 2019-07-23
申請(qǐng)公布號(hào) CN110044521A 申請(qǐng)公布日 2019-07-23
分類號(hào) G01L1/02 分類 測量；測試;
發(fā)明人 柳俊文;史曉晶 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 南京元感微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中知法苑知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 南京元感微電子有限公司
地址 210032 江蘇省南京市浦口區(qū)高新技術(shù)開發(fā)區(qū)星火路17號(hào)創(chuàng)智大廈B座6樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種測量固體間壓力的力傳感器。力傳感器包括傳感器主體，包括沿其厚度方向相對(duì)設(shè)置的第一表面和第二表面，第一表面用于接收待測量的壓力，第二表面上設(shè)置有液體腔以及位于液體腔沿其長度方向兩側(cè)且呈環(huán)狀的卡接槽，液體腔呈柱狀結(jié)構(gòu)；彈性膜片，位于第二表面以接收壓力并反饋至液體腔中，包括呈柱狀的本體部以及自本體部向第一表面方向凸出且呈環(huán)狀的卡接部，本體部覆蓋并密封液體腔且其在液體腔的正投影落在液體腔外側(cè)，卡接部卡設(shè)在卡接槽內(nèi)；壓力變送器，與液體腔連通，以測量液體腔內(nèi)的液體壓力信號(hào)。本發(fā)明的力傳感器方便安裝和密封，并可以實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確且實(shí)時(shí)的測量壓力。