一種環(huán)保型半導(dǎo)體硅片清洗劑及其清洗方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610246999.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN107304385A 公開（公告）日 2017-10-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN107304385A 申請(qǐng)公布日 2017-10-31
分類號(hào) C11D1/825(2006.01)I;C11D3/60(2006.01)I;C11D3/04(2006.01)I;C11D3/33(2006.01)I;C11D3/08(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I 分類 動(dòng)物或植物油、脂、脂肪物質(zhì)或蠟；由此制取的脂肪酸；洗滌劑；蠟燭;
發(fā)明人 仲躋和 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇天恒納米科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 226601 江蘇省南通市城東鎮(zhèn)東海大道(東)18號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種環(huán)保型半導(dǎo)體硅片清洗劑及其清洗方法，每100g清洗劑中以下重量份的原料組成：非離子表面活性劑0.1?5g；滲透劑0.1?5g；pH調(diào)節(jié)劑0.2?10g；螯合劑0.2?1g；余量為去離子水。本發(fā)明含有各種表面活性劑，同時(shí)添加有機(jī)堿，能有效去除硅研磨片表面殘留的各種有機(jī)物、金屬離子和吸附粒子，保證清洗的均一性，且清洗后硅片不會(huì)出現(xiàn)花狀表面，使用壽命長(zhǎng)，而且無金屬污染，無毒，無腐蝕性，屬于環(huán)保型產(chǎn)品。