一種分光與探測一體化的短波紅外光譜探測器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210133188.1 申請日 -
公開（公告）號 CN114551489A 公開（公告）日 2022-05-27
申請公布號 CN114551489A 申請公布日 2022-05-27
分類號 H01L27/146（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王少偉;玄志一;劉清權(quán);陸衛(wèi) 申請（專利權(quán)）人 中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所
代理機構(gòu) 上海滬慧律師事務(wù)所 代理人 -
地址 200083上海市虹口區(qū)玉田路500號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種分光與探測一體化的短波紅外光譜探測器，其結(jié)構(gòu)自下而上由硅基讀出電路、In柱互聯(lián)層、InGaAs光敏芯片、襯底、集成微腔分光結(jié)構(gòu)陣列組成。本發(fā)明中，集成微腔分光結(jié)構(gòu)陣列是基于法布里珀羅（FP）光學(xué)微腔原理的多通道集成分光器件。每個分光結(jié)構(gòu)與相應(yīng)InGaAs光敏芯片像元一體化集成，使每個探測器像元同時具備選頻分光和探測能力，構(gòu)成分光與探測一體化的的短波紅外光譜探測器。該探測芯片構(gòu)成了最小化的短波紅外光譜探測組件，具有分光與探測一體，光譜通道可以靈活設(shè)計、自由組合，穩(wěn)定性高、工藝兼容等優(yōu)點。