一種IZO靶材前驅(qū)體及其制備方法與應用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110625158.8 申請日 -
公開（公告）號 CN113402261A 公開（公告）日 2021-09-17
申請公布號 CN113402261A 申請公布日 2021-09-17
分類號 C04B35/01（2006.01）I;C04B35/622（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I;H01L51/52（2006.01）I 分類 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
發(fā)明人 陳明飛;劉永成;郭梓旋;徐勝利;王志杰;江長久;陳明高 申請（專利權(quán)）人 長沙壹納光電材料有限公司
代理機構(gòu) 廣州嘉權(quán)專利商標事務(wù)所有限公司 代理人 肖云
地址 410000湖南省長沙市金洲新區(qū)澳洲路068號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種IZO靶材前驅(qū)體及其制備方法與應用，該前驅(qū)體包括以下組分：氧化銦和氧化鋅；所述氧化銦和所述氧化鋅的質(zhì)量比為1:0.05～0.2；所述IZO靶材前驅(qū)體的比表面積在5m/g至20m/g之間。本發(fā)明通過控制前驅(qū)體的制備方法解決了IZO靶材的均勻性問題；本發(fā)明的制備方法減少了IZO粉體的機械混合破碎工序，減少了混合破碎過程中雜質(zhì)的引入；同時還有效的降低了生產(chǎn)成本。本發(fā)明制得的IZO靶材均勻性好，靶材在使用過程中不結(jié)瘤，不產(chǎn)生尖端放電，提高了膜層的均勻性。