一種檢測(cè)器件、MEMS陀螺儀
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010643727.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN111829496A | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-10-27 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111829496A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-10-27 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01C19/5656(2012.01)I;G01C19/5663(2012.01)I | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 王丹;宋吉濤;余綜;牛滿科;李慧靈 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 北京坦達(dá)聯(lián)軒控制技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 100088北京市豐臺(tái)區(qū)盧溝橋東關(guān)3.5號(hào)8幢2層203室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請(qǐng)公開(kāi)了一種檢測(cè)器件、MEMS陀螺儀，涉及微電子機(jī)械系統(tǒng)領(lǐng)域技術(shù)領(lǐng)域。本申請(qǐng)的檢測(cè)器件固定在玻璃基底上，包括：第一電極塊、第二電極塊、第一質(zhì)量塊、第二質(zhì)量塊和固定錨點(diǎn)，第一電極塊和第一質(zhì)量塊、第二電極塊和第二質(zhì)量塊均通過(guò)電容連接，第一電極塊和第二電極塊結(jié)構(gòu)相同，第一質(zhì)量塊和第二質(zhì)量塊結(jié)構(gòu)對(duì)稱(chēng)，對(duì)稱(chēng)設(shè)置在固定錨點(diǎn)之間；第一質(zhì)量塊、第二質(zhì)量塊、固定錨點(diǎn)之間通過(guò)支承梁連接，第一電極塊、第二電極塊、固定錨點(diǎn)均與玻璃基底鍵合，第一質(zhì)量塊和第二質(zhì)量塊懸浮在玻璃基底上方。本申請(qǐng)的技術(shù)方案提高了陀螺儀的品質(zhì)因子Q，實(shí)現(xiàn)了驅(qū)動(dòng)和檢測(cè)的機(jī)械解耦，減少了噪聲信號(hào)，提高了陀螺儀的信噪比。?? |
