一種清洗制絨用存放硅片的花籃

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023339403.9 申請日 -
公開（公告）號 CN214152861U 公開（公告）日 2021-09-07
申請公布號 CN214152861U 申請公布日 2021-09-07
分類號 H01L21/673（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 上官泉元;蘆偉 申請（專利權(quán)）人 常州比太黑硅科技有限公司
代理機構(gòu) 北京集智東方知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 吳倩
地址 213164江蘇省蘇州市武進高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)鳳翔路7號金沙江光電產(chǎn)業(yè)園內(nèi)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種清洗制絨用存放硅片的花籃，包括對稱設(shè)置的側(cè)板，以及連接兩側(cè)側(cè)板的頂部齒桿、側(cè)部齒桿和底部齒桿，側(cè)部齒桿位于側(cè)板的左側(cè)或右側(cè)；頂部齒桿上等距設(shè)置有頂部卡齒；側(cè)部齒桿上等距設(shè)置有側(cè)部卡齒；底部齒桿上等距設(shè)置有底部卡齒；其中，底部卡齒與對應(yīng)的硅片底部側(cè)邊呈30?80°夾角α。本實用新型的底部齒桿上等距離分布著若干與對應(yīng)的硅片側(cè)邊呈一定傾角的底部卡齒，由于該底部卡齒與硅片的接觸面形成一個非90°的斜角而使得底部卡齒間夾帶的液體更易滑落脫離，不易產(chǎn)生毛細(xì)作用吸附在硅片表面，有效縮減后道清洗或烘干工藝時長，并能避免硅片表面水印臟污的產(chǎn)生，保證清洗效果。