導(dǎo)電薄膜多探針測量裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202020125069.8 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN211554146U | 公開（公告）日 | 2020-09-22 |
| 申請公布號 | CN211554146U | 申請公布日 | 2020-09-22 |
| 分類號 | G01R27/02(2006.01)I | 分類 | 測量；測試; |
| 發(fā)明人 | 劉相華;胡振賢 | 申請（專利權(quán)）人 | 麥嶠里（上海）半導(dǎo)體科技有限責任公司 |
| 代理機構(gòu) | 上海驍象知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 麥嶠里（上海）半導(dǎo)體科技有限責任公司 |
| 地址 | 201203上海市浦東新區(qū)盛夏路608號2幢506室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種導(dǎo)電薄膜多探針測量裝置，涉及薄膜檢測技術(shù)領(lǐng)域，所解決的是控制探針力的技術(shù)問題。該裝置包括測量基座、探頭座；所述探頭座上設(shè)有多根探針，每根探針上都設(shè)有彈性加力部件，所述測量基座上設(shè)有能上下活動的活動座，并且在測量基座上設(shè)有用于驅(qū)使活動座向上回位的彈性回位部件，所述探頭座固定在活動座上；所述測量基座上設(shè)有推桿，及用于驅(qū)動推桿上下滑動的推桿驅(qū)動部件，推桿的下端抵住活動座，推桿上設(shè)有用于檢測推桿所承受的豎向壓力的壓力傳感器。本實用新型提供的裝置，適用于測量導(dǎo)電薄膜方塊電阻。?? |
