晶圓導(dǎo)電薄膜加工系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910669630.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN110364448A 公開(kāi)（公告）日 2019-10-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN110364448A 申請(qǐng)公布日 2019-10-22
分類(lèi)號(hào) H01L21/66 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉相華 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 麥嶠里（上海）半導(dǎo)體科技有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 上海驍象知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 麥嶠里（上海）半導(dǎo)體科技有限責(zé)任公司
地址 201203 上海市浦東新區(qū)盛夏路608號(hào)2幢506室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種晶圓導(dǎo)電薄膜加工系統(tǒng)，涉及半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域，所解決的是提高膜厚測(cè)量精度的技術(shù)問(wèn)題。該系統(tǒng)包括工藝腔、傳送腔，所述工藝腔中設(shè)有膜厚處理裝置，所述傳送腔上設(shè)有兩個(gè)裝載盒，傳送腔內(nèi)設(shè)有晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置、機(jī)械手；所述晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置包括預(yù)對(duì)準(zhǔn)底座，及安裝在預(yù)對(duì)準(zhǔn)底座上的旋轉(zhuǎn)托盤(pán)，預(yù)對(duì)準(zhǔn)底座上設(shè)有旋轉(zhuǎn)電機(jī)；所述預(yù)對(duì)準(zhǔn)底座上固定有橫梁，橫梁上設(shè)有能沿旋轉(zhuǎn)托盤(pán)的徑向滑動(dòng)的渦電流傳感器，并且渦電流傳感器位于旋轉(zhuǎn)托盤(pán)的上方，橫梁上設(shè)有用于導(dǎo)引渦電流傳感器滑動(dòng)的導(dǎo)軌，及用于驅(qū)動(dòng)渦電流傳感器滑動(dòng)的橫移驅(qū)動(dòng)部件。本發(fā)明提供的系統(tǒng)，適用于晶圓導(dǎo)電薄膜的加厚或減薄。