一種電子束激發(fā)熒光大范圍直接探測成像裝置及其方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201611261465.8 申請日 -
公開（公告）號 CN108279247B 公開（公告）日 2019-07-26
申請公布號 CN108279247B 申請公布日 2019-07-26
分類號 G01N23/2251（2018.01）I; G01J1/42（2006.01）I; G01J1/04（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 朱瑞; 徐軍; 劉亞琪 申請（專利權(quán)）人 北京金竟科技有限責(zé)任公司
代理機構(gòu) 北京萬象新悅知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 北京金竟科技有限責(zé)任公司
地址 100095 北京市海淀區(qū)翠湖南環(huán)路13號院1號樓4層416室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種電子束激發(fā)熒光大范圍直接探測成像裝置及其方法。本發(fā)明的成像裝置包括：掃描電子顯微鏡系統(tǒng)、掃描信號發(fā)生器、熒光收集耦合系統(tǒng)、半導(dǎo)體光探測器、掃描同步信號采集器、協(xié)同控制與數(shù)據(jù)處理輸出系統(tǒng)；本發(fā)明采用模塊化的構(gòu)架，各模塊的配置調(diào)整及后續(xù)升級非常靈活便利；通過引入半導(dǎo)體光探測器的大面積半導(dǎo)體光電探測芯片，使得在掃描電子顯微鏡系統(tǒng)在大成像視野范圍內(nèi)所激發(fā)的熒光均能夠以相同的高收集效率會聚耦合至半導(dǎo)體光探測器，解決了大范圍熒光掃描成像所得到的圖像難以使用統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn)來測算和比較不同位置處的熒光激發(fā)強度或熒光激發(fā)產(chǎn)率的問題，能夠完成基于電子束激發(fā)熒光信號的大范圍快速檢測分析。