一種金剛石薄膜真空沉積爐裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201721586098.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN207608617U | 公開(kāi)（公告）日 | 2018-07-13 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN207608617U | 申請(qǐng)公布日 | 2018-07-13 |
| 分類(lèi)號(hào) | C23C14/06;C23C16/27 | 分類(lèi) | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 樊巍 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 河南佰特科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 洛陽(yáng)明律專(zhuān)利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 河南佰特科技有限公司 |
| 地址 | 471000 河南省洛陽(yáng)市高新開(kāi)發(fā)區(qū)延光路火炬創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)園A5號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種金剛石薄膜真空沉積爐裝置，包括底座、爐體、上蓋、沉積臺(tái)總成和等離子發(fā)生器，所述的底座設(shè)置在底部，爐體設(shè)置在底座的上部，上蓋設(shè)置在爐體的上部，沉積臺(tái)總成設(shè)置在底座的中心上部，等離子發(fā)生器設(shè)置在上蓋的中心下部；所述的爐體為圓筒結(jié)構(gòu)，爐體的上下貫通，爐體為雙層結(jié)構(gòu)，在內(nèi)層和外層之間設(shè)置有爐體水道，內(nèi)層的內(nèi)側(cè)為爐體內(nèi)腔，爐體的側(cè)面設(shè)置有爐口，爐口外側(cè)設(shè)置有爐門(mén)座；通過(guò)本實(shí)用新型的實(shí)施，達(dá)到了良好的使用效果：金剛石薄膜真空沉積爐裝置有效的克服了傳統(tǒng)的爐體溫度過(guò)高的問(wèn)題，極大的提高了爐體的穩(wěn)定性，減少了廢品的產(chǎn)生，并且避免了溫度過(guò)高對(duì)爐體的損壞，提高了生產(chǎn)安全，給企業(yè)帶來(lái)更高的效益。 |
