一種CVD膜片的酸洗方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810307229.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN108405457A 公開(kāi)（公告）日 2018-08-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN108405457A 申請(qǐng)公布日 2018-08-17
分類號(hào) B08B3/08;B08B3/12 分類 清潔;
發(fā)明人 樊巍;范艷芬 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 河南佰特科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 洛陽(yáng)潤(rùn)誠(chéng)慧創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 河南佰特科技有限公司
地址 471000 河南省洛陽(yáng)市高新開(kāi)發(fā)區(qū)延光路火炬創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)園A5號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種CVD膜片的酸洗方法，涉及金剛石領(lǐng)域，包含如下步驟：一、準(zhǔn)備工作，領(lǐng)取CVD膜片，檢查設(shè)備、地面衛(wèi)生是否合格，工具是否齊全；二、進(jìn)行酸洗：A、檢查燒瓶并吹干；B、將膜片掰開(kāi)倒入燒瓶中；C、將燒瓶固定在酸洗架子上；D、加酸；E、點(diǎn)火后立即裝上隔離罩；F、酸洗完成后將燒瓶、冷凝器、堿水瓶等各個(gè)接口處斷開(kāi)；G、燒瓶冷卻1個(gè)小時(shí)；H、將酸洗好的膜片倒入燒杯中用清水清洗再進(jìn)行超聲波清洗；I、用熱風(fēng)槍將膜片吹干，并清點(diǎn)數(shù)量；三、酸洗完畢打掃衛(wèi)生。本發(fā)明所述的酸洗方法完全能滿足CVD膜片的酸洗需求，本發(fā)明具有操作簡(jiǎn)單、酸洗效率高、無(wú)污染等特點(diǎn)，適合大范圍的推廣和應(yīng)用。