一種多通道熒光光纖溫度變送器及測溫方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011611445.5 申請日 -
公開（公告）號 CN112629699A 公開（公告）日 2021-04-09
申請公布號 CN112629699A 申請公布日 2021-04-09
分類號 G01K11/32 分類 測量；測試;
發(fā)明人 張文松;邵飛;胡波 申請（專利權(quán)）人 西安和其光電科技股份有限公司
代理機構(gòu) 西安智邦專利商標代理有限公司 代理人 董娜
地址 710119 陜西省西安市高新區(qū)新型工業(yè)園西部大道60號11號樓301、302室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種多通道熒光光纖溫度變送器及測溫方法，解決現(xiàn)有對等離子體刻蝕機靜電吸盤的測溫方式，存在測量誤差大、精度低的問題。方法包括步驟：1)M個光源發(fā)生器進行第1次發(fā)光激發(fā)；2)關(guān)閉M個光源發(fā)生器，M個測溫單元光傳感器進行第i次激發(fā)光的信號采樣，i＝1，數(shù)據(jù)處理單元對光傳感器獲得的采樣值處理，獲得M個第i次溫度數(shù)據(jù)；3)M個光源發(fā)生器進行第i+1次發(fā)光激發(fā)；4)關(guān)閉M個光源發(fā)生器，M個測溫單元的光傳感器進行第i+1次激發(fā)光的信號采樣，數(shù)據(jù)處理單元對光傳感器獲得的采樣值處理，獲得M個第i+1次溫度數(shù)據(jù)；同時，數(shù)據(jù)處理單元對M個第i次溫度數(shù)據(jù)進行濾波并輸出；5)令i＝i+1，返回步驟3)，直至測溫結(jié)束。