一種擴(kuò)張翻轉(zhuǎn)一體化設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201220602338.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN203026488U 公開（公告）日 2013-06-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN203026488U 申請(qǐng)公布日 2013-06-26
分類號(hào) H01L21/67(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 肖志國;任永碩;唐勇;郭建華 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 大連美明外延片科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 116600 遼寧省大連市開發(fā)區(qū)黃海大道1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種擴(kuò)張翻轉(zhuǎn)一體化設(shè)備，涉及半導(dǎo)體行業(yè)晶圓擴(kuò)張、翻轉(zhuǎn)技術(shù)領(lǐng)域。該設(shè)備包括操作臺(tái)、支撐架、上氣缸、上托盤、下托盤、金屬環(huán)支架、切膜刀和鎖扣。本實(shí)用新型既可以實(shí)現(xiàn)常規(guī)的擴(kuò)張步驟，也可以實(shí)現(xiàn)翻轉(zhuǎn)步驟，達(dá)到投資費(fèi)用低，操作步驟少，降低耗材的消耗，提高生產(chǎn)效率等目的。