一種單晶爐爐底冷卻裝置及單晶爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021495027.X 申請日 -
公開（公告）號 CN213417069U 公開（公告）日 2021-06-11
申請公布號 CN213417069U 申請公布日 2021-06-11
分類號 C30B15/00;C30B29/06 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 劉杰;馬自成 申請（專利權）人 四川永祥硅材料有限公司
代理機構 北京集佳知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 李寧
地址 614000 四川省樂山市五通橋區(qū)金粟鎮(zhèn)十字街8號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種單晶爐爐底冷卻裝置和單晶爐，其中單晶爐爐底冷卻裝置包括爐底盤和設置于爐底盤上的排氣管和電極，還包括用于冷卻水流入的進水主管和用于冷卻水流出的出水主管，以及多個進水分管和出水分管；其中任意一個排氣管的一端均通過任意一個進水分管與進水主管相連，另一端均通過任意一個出水分管與出水主管相連；任意一個電極的一端均通過任意一個進水分管與進水主管相連，另一端均通過任意一個出水分管與出水主管相連。該裝置能夠均勻的冷卻單晶爐爐底的排氣管及電極，既能保證設備的安全性，又能避免氧化物聚集堵塞管道，從而有效保證了生產(chǎn)的順利進行。