一種錳摻雜二氧化鈦納米管陣列膜及氣敏元件以及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710327503.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN107268061B 公開(kāi)（公告）日 2019-01-25
申請(qǐng)公布號(hào) CN107268061B 申請(qǐng)公布日 2019-01-25
分類號(hào) C25D11/26;B82Y40/00;G01N27/00;G01N33/00 分類 電解或電泳工藝；其所用設(shè)備〔4〕;
發(fā)明人 趙春霞;徐周;邵林清;陳文;金偉 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 武漢微納傳感技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 湖北武漢永嘉專利代理有限公司 代理人 武漢理工大學(xué);武漢微納傳感技術(shù)有限公司
地址 430070 湖北省武漢市洪山區(qū)珞獅路122號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種錳摻雜二氧化鈦納米管陣列膜及氣敏元件以及其制備方法。本發(fā)明是以陽(yáng)極氧化法原位制備錳摻雜二氧化鈦納米管陣列膜，通過(guò)熱處理結(jié)合陽(yáng)極氧化將其剝離，并轉(zhuǎn)移至陶瓷管上制作成氣敏元件。本發(fā)明制備過(guò)程簡(jiǎn)單、成本較低、工藝參數(shù)便于控制，制備的錳摻雜二氧化鈦納米管陣列膜結(jié)構(gòu)規(guī)整，納米管尺寸均一，光學(xué)帶隙降低，氣敏性能顯著提升。