一種低壓控制晶硅片磷擴(kuò)散系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201711115386.0 申請日 -
公開（公告）號 CN108010988A 公開（公告）日 2018-05-08
申請公布號 CN108010988A 申請公布日 2018-05-08
分類號 H01L31/18 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 楊斌;訾浩明;都基慶 申請（專利權(quán)）人 江蘇愛多能源科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京知識律師事務(wù)所 代理人 江蘇愛多能源科技有限公司
地址 214400 江蘇省無錫市江陰市周莊鎮(zhèn)寶池路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種低壓控制晶硅片磷擴(kuò)散系統(tǒng)，本發(fā)明涉及太陽能電池板技術(shù)領(lǐng)域；它包含石英擴(kuò)散管、真空泵、尾氣管、壓力傳感器、進(jìn)氣管、控制閥門；所述的真空泵通過管道與石英擴(kuò)散管的尾氣管連接，連接管道上設(shè)有壓力傳感器和控制閥門；所述的進(jìn)氣管連接在石英擴(kuò)散管上。能夠控制電池片的方塊電阻的穩(wěn)定性和單片的均勻性，提升制程控制水平；由于采用了低壓擴(kuò)散的方式，可以大幅度的降低擴(kuò)散使用磷源，從而降低生產(chǎn)成本，更好的滿足不同客戶的需求，實用性更強。