自鉗位IGBT器件及其制造方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201911281948.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN110993516A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-06-25 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN110993516A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-06-25 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/60;H01L23/49;H01L25/18;F02P3/02 | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 孫永生;鐘圣榮;周東飛 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 上海貝嶺股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海弼興律師事務(wù)所 | 代理人 | 薛琦;林嵩 |
| 地址 | 200233 上海市徐匯區(qū)宜山路810號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種自鉗位IGBT器件及其制造方法，所述制造方法包括：在IGBT芯片上制作第一打線窗口；在第一芯片上制作第二打線窗口和第三打線窗口；將所述第一芯片疊放在所述IGBT芯片表面；將所述第一打線窗口和所述第二打線窗口進(jìn)行打線連接，并將所述第三打線窗口和所述IGBT芯片的柵極進(jìn)行打線連接。本發(fā)明在不需要調(diào)整IGBT芯片及晶體管（如二極管）的設(shè)計(jì)規(guī)則及工藝的條件下，大大地降低了制造工藝難度，降低了器件的設(shè)計(jì)要求，提高了IGBT芯片和晶體管芯片結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及加工自由度，且在實(shí)現(xiàn)自鉗位保護(hù)功能的同時(shí)也保證了IGBT有源區(qū)面積不損失；另外，制造流程具有一定的通用性，另外也簡(jiǎn)化了制造流程。 |
