連續(xù)拉晶單晶爐的熱場結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022049427.4 申請日 -
公開（公告）號 CN213652724U 公開（公告）日 2021-07-09
申請公布號 CN213652724U 申請公布日 2021-07-09
分類號 C30B15/14（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 陳五奎;陳昊;陳嘉豪;陳輝 申請（專利權(quán)）人 樂山新天源太陽能科技有限公司
代理機構(gòu) 成都點睛專利代理事務所（普通合伙） 代理人 李玉興
地址 614000四川省樂山市樂山高新區(qū)建業(yè)大道888號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種能夠保證單晶硅連續(xù)拉晶的加熱熱場氛圍以及惰性氣體保護氛圍的連續(xù)拉晶單晶爐的熱場結(jié)構(gòu)。該連續(xù)拉晶單晶爐的熱場結(jié)構(gòu)包括保溫層、坩堝加熱裝置，下方設置有托盤；所述托盤下方設置有第一保溫加熱電阻；所述坩堝周圍設置有加熱電阻；所述加熱電阻的分布在坩堝外側(cè)且與坩堝的外型匹配；所述坩堝上方設置有導流筒；所述導流筒的下端的外側(cè)設置有倒扣導流罩；所述爐體底部設置有反射層；所述爐體下端設置有加熱電極以及保溫電極；所述爐體上方的拉伸裝置上設置有惰性氣體入口；所述爐體底部設置有惰性氣體吸氣口。采用該連續(xù)拉晶單晶爐的熱場結(jié)構(gòu)能夠保證單晶硅硅棒的連續(xù)拉伸，提高生產(chǎn)效率，保證產(chǎn)品品質(zhì)。