一種用于磁控靶的收放式擋板及含其的磁控濺射鍍膜機(jī)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201921934505.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN210886209U | 公開（公告）日 | 2020-06-30 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN210886209U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-06-30 |
| 分類號(hào) | C23C14/35(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 刁訓(xùn)剛;秦建平;刁詩(shī)如 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 納能鍍膜丹陽(yáng)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京領(lǐng)科知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 艾變開 |
| 地址 | 212300江蘇省鎮(zhèn)江市丹陽(yáng)市云陽(yáng)鎮(zhèn)南三環(huán)路科創(chuàng)園C3樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及一種用于磁控靶的收放式擋板及含其的磁控濺射鍍膜機(jī)，所述收放式擋板豎直放置，并包括氣缸、擋板軸、第一連片、第二連片和靶擋板，所述氣缸設(shè)在所述收放式擋板的頂部，所述擋板軸固定連接氣缸的活塞，并能夠隨活塞做伸縮運(yùn)動(dòng)，所述第一連片的頂部固定在氣缸外部，底部鉸接所述靶擋板，所述第二連片的頂部連接擋板軸，底部連接靶擋板；所述靶擋板設(shè)在所述收放式擋板的底部，所述擋板軸通過第二連片帶動(dòng)靶擋板相對(duì)于第一連片做伸展或收縮閉合的運(yùn)動(dòng)。?? |
