一種直熱式高通量樣品架及含其的磁控濺射鍍膜機(jī)
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201921934476.7 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN210886208U | 公開（公告）日 | 2020-06-30 |
| 申請公布號 | CN210886208U | 申請公布日 | 2020-06-30 |
| 分類號 | C23C14/35(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 刁訓(xùn)剛;秦建平;刁詩如 | 申請（專利權(quán)）人 | 納能鍍膜丹陽有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京領(lǐng)科知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 艾變開 |
| 地址 | 212300江蘇省鎮(zhèn)江市丹陽市云陽鎮(zhèn)南三環(huán)路科創(chuàng)園C3樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及一種直熱式高通量樣品架，包括樣品臺(tái)、支撐桿和驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，所述樣品架還包括樣品罩，所述樣品罩可拆卸地設(shè)在樣品臺(tái)上方，樣品臺(tái)的內(nèi)部設(shè)有加熱裝置，所述樣品罩具有多個(gè)樣品通孔，用于高通量制備多組份混合納米薄膜和納米多層功能薄膜器件；所述支撐桿的頂部固定連接樣品臺(tái)，且底部連接所述驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)裝置，所述驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)裝置通過支撐桿帶動(dòng)樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)。所述樣品架熱能利用率較高，樣品溫度容易控制。所述樣品罩具有上百個(gè)樣品通孔，為材料基因組高通量鍍膜提供可能。?? |
