一種高通量磁控濺射納米薄膜器件制備裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201921935891.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN210886210U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-06-30 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN210886210U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-06-30 |
| 分類(lèi)號(hào) | C23C14/35(2006.01)I | 分類(lèi) | - |
| 發(fā)明人 | 刁訓(xùn)剛;秦建平;刁詩(shī)如 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 納能鍍膜丹陽(yáng)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京領(lǐng)科知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 艾變開(kāi) |
| 地址 | 212300江蘇省鎮(zhèn)江市丹陽(yáng)市云陽(yáng)鎮(zhèn)南三環(huán)路科創(chuàng)園C3樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及一種高通量磁控濺射納米薄膜器件制備裝置，所述制備裝置包括磁控靶、樣品架和樣品擋板，所述磁控靶傾斜設(shè)置，所述樣品架設(shè)在磁控靶的下方，所述樣品架的樣品臺(tái)為板狀，且內(nèi)部設(shè)有加熱器，樣品臺(tái)上方設(shè)置樣品罩，所述樣品罩具有多個(gè)樣品通孔。所述樣品擋板設(shè)在樣品臺(tái)的上方，且水平放置，樣品擋板包括氣缸、轉(zhuǎn)擋軸、支柱、兩個(gè)轉(zhuǎn)擋連片和兩個(gè)擋板，所述氣缸的活塞連接并能夠帶動(dòng)轉(zhuǎn)擋軸做伸縮運(yùn)動(dòng)，所述支柱的底部垂直固定在轉(zhuǎn)擋軸上，支柱的頂端同時(shí)連接兩個(gè)轉(zhuǎn)擋連片的前端，兩個(gè)轉(zhuǎn)擋連片的后端分別連接兩個(gè)擋板，所述支柱通過(guò)兩個(gè)轉(zhuǎn)擋連片分別帶動(dòng)兩個(gè)擋板相互靠近或相互遠(yuǎn)離。?? |
