一種晶圓載臺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210317587.3 申請日 -
公開（公告）號 CN114683223A 公開（公告）日 2022-07-01
申請公布號 CN114683223A 申請公布日 2022-07-01
分類號 B25H1/00（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I 分類 手動工具；輕便機(jī)動工具；手動器械的手柄；車間設(shè)備；機(jī)械手;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請（專利權(quán)）人 蘇州矽行半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京千壹知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 213166江蘇省蘇州市高新區(qū)培源路2號微系統(tǒng)園2號樓106室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種晶圓載臺，屬于高精機(jī)臺領(lǐng)域，包括載臺底腳、載臺底座、載臺上座、載臺主軸、晶圓載盤、載盤剎車組件、主軸彈性支撐組件、回正叉組件和載臺底面真空剎車組件；通過本方案，可以懸浮的柔性支撐晶圓、硅片等待檢測或待加工件，達(dá)到高精懸浮支撐作用，保證了載臺的精度和穩(wěn)定性，便于在帶有運(yùn)動臺的半導(dǎo)體量檢測、高精加工領(lǐng)域中推廣應(yīng)用。