一種盤(pán)剎機(jī)構(gòu)及晶圓載臺(tái)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210317570.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN114683226A 公開(kāi)（公告）日 2022-07-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN114683226A 申請(qǐng)公布日 2022-07-01
分類(lèi)號(hào) B25H1/14（2006.01）I;B25H1/00（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I;H01L21/68（2006.01）I 分類(lèi) 手動(dòng)工具；輕便機(jī)動(dòng)工具；手動(dòng)器械的手柄；車(chē)間設(shè)備；機(jī)械手;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 蘇州矽行半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京千壹知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 213166江蘇省蘇州市高新區(qū)培源路2號(hào)微系統(tǒng)園2號(hào)樓106室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種盤(pán)剎機(jī)構(gòu)及晶圓載臺(tái)，屬于高精機(jī)臺(tái)領(lǐng)域，盤(pán)剎機(jī)構(gòu)包括交疊設(shè)置的底座剎車(chē)致動(dòng)單元和載盤(pán)下接單元，底座剎車(chē)致動(dòng)單元固定至底座上方，載盤(pán)下接單元從載盤(pán)的下方連接載盤(pán)；底座剎車(chē)致動(dòng)單元用于致動(dòng)吸合或分離載盤(pán)下接單元，以此實(shí)現(xiàn)載盤(pán)的剎車(chē)與否；晶圓載臺(tái)包括載臺(tái)主軸、載盤(pán)、載臺(tái)底座、載臺(tái)氣浮地腳、載盤(pán)剎車(chē)組件、主軸彈性支撐組件和回正組件；盤(pán)剎機(jī)構(gòu)設(shè)置在載臺(tái)底座和載盤(pán)之間，用于載盤(pán)的被動(dòng)剎車(chē)定位；通過(guò)本發(fā)明，對(duì)被動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)的載盤(pán)提供剎車(chē)定位功能，降低了成本，保證了載臺(tái)的精度和穩(wěn)定性，便于在帶有運(yùn)動(dòng)臺(tái)的半導(dǎo)體量檢測(cè)、高精加工領(lǐng)域中推廣應(yīng)用。