一種柔性運(yùn)動(dòng)臺(tái)及載臺(tái)系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210318967.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114619411A 公開（公告）日 2022-06-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN114619411A 申請(qǐng)公布日 2022-06-14
分類號(hào) B25H1/02（2006.01）I;B25H1/10（2006.01）I;B25B11/00（2006.01）I 分類 手動(dòng)工具；輕便機(jī)動(dòng)工具；手動(dòng)器械的手柄；車間設(shè)備；機(jī)械手;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州矽行半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京千壹知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 213166江蘇省蘇州市高新區(qū)培源路2號(hào)微系統(tǒng)園2號(hào)樓106室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種柔性運(yùn)動(dòng)臺(tái)及載臺(tái)系統(tǒng)，屬于高精機(jī)臺(tái)領(lǐng)域，柔性運(yùn)動(dòng)臺(tái)包括承載梁、端接頭、氣浮地腳、側(cè)端氣浮墊、側(cè)端剎車墊、橫向直線電機(jī)、縱向直線電機(jī)、距離傳感器和偏移限位組件，橫向直線電機(jī)和縱向直線電機(jī)用以在平面內(nèi)驅(qū)動(dòng)承載梁；多個(gè)距離傳感器設(shè)置在端接頭上，用以監(jiān)測(cè)承載梁的位置；載臺(tái)系統(tǒng)包括機(jī)架、側(cè)邊梁、晶圓載臺(tái)、摩擦傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、X軸橫梁、X軸驅(qū)動(dòng)組、Y軸驅(qū)動(dòng)組和消反力組件；柔性運(yùn)動(dòng)臺(tái)被柔性支撐在機(jī)架和兩個(gè)側(cè)邊梁之間；通過本申請(qǐng)的柔性運(yùn)動(dòng)臺(tái)及載臺(tái)系統(tǒng)，能夠精確的柔性支撐、監(jiān)測(cè)和調(diào)節(jié)承載梁的空間位置，保證載臺(tái)系統(tǒng)的精度和穩(wěn)定性，便于在帶有運(yùn)動(dòng)臺(tái)的半導(dǎo)體量檢測(cè)、高精加工領(lǐng)域中推廣應(yīng)用。