一種基于激光擴(kuò)散的全背接觸IBC電池制備方法及電池

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910811487.4 申請日 -
公開（公告）號 CN110534618B 公開（公告）日 2021-08-06
申請公布號 CN110534618B 申請公布日 2021-08-06
分類號 H01L31/18;H01L31/068;H01L31/0224 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王嵐;陳坤;張忠文;謝毅;陳明 申請（專利權(quán)）人 通威太陽能（眉山）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都弘毅天承知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 謝建
地址 620000 四川省眉山市東坡區(qū)修文鎮(zhèn)進(jìn)修路8號附1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種基于激光擴(kuò)散的全背接觸IBC電池制備方法及其電池，涉及太陽能電池技術(shù)領(lǐng)域，本發(fā)明制備方法包括以下步驟：堿制絨、P擴(kuò)散、邊緣隔離、單面拋光、激光摻雜、前端PSG層和激光損傷層清除、熱氧化、沉積SixNy減反膜、激光燒蝕和絲網(wǎng)印刷金屬化，本發(fā)明制得的電池將正面柵線和發(fā)射極都設(shè)于電池背面，減少遮光面積，提升了短路電流，本發(fā)明通過激光擴(kuò)散制結(jié)和做局域背場，省去了離子注入和光刻做掩膜的工藝，降低了IBC高效電池的制作成本，采用絲網(wǎng)印刷的方式做金屬化，省去了掩膜法加電鍍做金屬化的工藝，降低了IBC高效電池的制作成本和工藝步驟，適用于大規(guī)模的高效低成本電池生產(chǎn)。