一種石英基板高吸附性吸附墊及其制備工藝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210450984.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114683167A 公開（公告）日 2022-07-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN114683167A 申請(qǐng)公布日 2022-07-01
分類號(hào) B24B37/27（2012.01）I;B24B37/34（2012.01）I;B29C67/24（2006.01）I;B32B3/04（2006.01）I;B32B3/30（2006.01）I;B32B7/12（2006.01）I;B32B27/08（2006.01）I;B32B27/20（2006.01）I;B32B27/38（2006.01）I;B32B27/40（2006.01）I;B32B37/06（2006.01）I;B32B37/12（2006.01）I;B32B38/04（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 李加海;楊慧明;李元祥 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 安徽禾臣新材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京和聯(lián)順知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 238200安徽省馬鞍山市和縣經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)姥下河?xùn)|路標(biāo)準(zhǔn)化廠房1號(hào)廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種石英基板高吸附性吸附墊及其制備工藝，涉及吸附墊技術(shù)領(lǐng)域。包括石英基板層、連接層和多孔吸附層，所述石英基板層通過連接層與多孔吸附層連接，石英基板層靠近多孔吸附層的一側(cè)設(shè)置有環(huán)形分布的支撐凸點(diǎn)，支撐凸點(diǎn)呈同心圓分布，同一圓形上的支撐凸點(diǎn)高度相同，從石英基板層邊緣向圓心方向上的支撐凸點(diǎn)高度遞減。本發(fā)明提出的一種石英基板高吸附性吸附墊及其制備工藝，設(shè)置的石英基板層上連接有支撐凸點(diǎn)和支撐圈，通過支撐凸點(diǎn)，能夠防止第三吸附層受壓變形，從而提高吸附墊的穩(wěn)定性，能夠在保證高吸附性的同時(shí)，減小吸附墊的形變，利用棗木和梨木材質(zhì)堅(jiān)硬，有韌性，不易折斷的特點(diǎn)，提高了石英基板層的硬度。