一種半導(dǎo)體加工用無蠟墊及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210279060.6 申請日 -
公開（公告）號 CN114750467A 公開（公告）日 2022-07-15
申請公布號 CN114750467A 申請公布日 2022-07-15
分類號 B32B3/24（2006.01）I;B32B7/12（2006.01）I;B32B27/40（2006.01）I;B32B27/06（2006.01）I;B32B33/00（2006.01）I;B24B41/06（2012.01）I;C08F283/00（2006.01）I;C08F220/14（2006.01）I;C08J9/32（2006.01）I;C08L51/08（2006.01）I 分類 層狀產(chǎn)品;
發(fā)明人 李加海;黃國平;梁則兵;楊惠明;李元祥 申請（專利權(quán)）人 安徽禾臣新材料有限公司
代理機構(gòu) 合肥正則元起專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 243000安徽省馬鞍山市和縣經(jīng)濟開發(fā)區(qū)姥下河?xùn)|路標準化廠房1號廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體加工用無蠟墊及其制備方法，屬于拋光材料技術(shù)領(lǐng)域，該半導(dǎo)體加工用無蠟墊包括鑲嵌層、置片孔、第一粘接層、吸附層、第二粘接層和襯底層，吸附層由聚氨酯發(fā)泡材料制成，無蠟拋光墊主體?聚氨酯薄膜的形成是無蠟墊制備工藝中的關(guān)鍵部分，本申請中利用了自制的聚氨酯發(fā)泡材料制備吸附層，利用了聚氨酯/甲基丙烯酸甲酯聚合物網(wǎng)絡(luò)之間相互纏繞，增強體系分散性和界面親和性，提高穩(wěn)定性，從而提高吸附層的機械性能和力學(xué)性能。同時在制備混合物A的過程中加入了含氟單體，得到的聚氨酯發(fā)泡材料具有低表面自由能、低吸水率，熱穩(wěn)定性，提高吸附墊的憎水憎油性能，提高吸附墊的耐化學(xué)品腐蝕性能。