一種感測(cè)膜和微機(jī)電裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910489521.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN110002394B 公開（公告）日 2019-09-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN110002394B 申請(qǐng)公布日 2019-09-06
分類號(hào) B81B3/00（2006.01）I 分類 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕;
發(fā)明人 詹竣凱; 羅松成 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市共達(dá)電聲科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州市越秀區(qū)哲力專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 共達(dá)電聲股份有限公司;深圳市共達(dá)電聲科技有限公司
地址 261200 山東省濰坊市坊子區(qū)鳳山路68號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種微機(jī)電技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種感測(cè)膜和微機(jī)電裝置。所述感測(cè)膜包括應(yīng)力分散部和感測(cè)部，所述應(yīng)力分散部包括多個(gè)呈平面狀的振動(dòng)彈簧，所述振動(dòng)彈簧包括第一半簧和第二半簧，所述第一半簧和第二半簧交錯(cuò)連接。微機(jī)電裝置采用了上述的感測(cè)膜。本發(fā)明的感測(cè)膜和微機(jī)電裝置具有消除應(yīng)力效果好的優(yōu)點(diǎn)。