一種高氣密性治具腔體
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202020531910.3 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN211477513U | 公開（公告）日 | 2020-09-11 |
| 申請公布號 | CN211477513U | 申請公布日 | 2020-09-11 |
| 分類號 | G01M3/02(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 劉波 | 申請（專利權）人 | 無錫升滕半導體技術有限公司 |
| 代理機構 | 無錫松禾知識產權代理事務所（普通合伙） | 代理人 | 無錫升滕半導體技術有限公司 |
| 地址 | 214000江蘇省無錫市新吳區(qū)菱湖大道天安智慧城 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了一種高氣密性治具腔體，包括治具本體，所述治具內部設有檢測腔；所述治具上設置有與被檢測裝置相連接的連接孔槽，以及與抽真空裝置相連通的抽氣孔；所述治具設置有封合端面，所述封合端面設置有與所述檢測腔連通的封合孔，所述封合孔上覆設有封合板，所述封合板和所述封合端面間設置有密封墊圈；所述封合端面的一端設置有轉動軸，所述封合板的一端設置有弧形內凹的轉動槽；所述封合板的一端通過所述轉動槽壓抵在所述轉動軸上，并朝所述封合端面轉動，所述封合板的另一端通過螺栓與所述封合端面相緊固。本實用新型能夠簡化治具封合板的裝拆步驟，且氣密性能更佳。?? |
