超聲波掃描顯微鏡檢測(cè)系統(tǒng)器件定位裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020542670.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN211978773U | 公開（公告）日 | 2020-11-20 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211978773U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-11-20 |
| 分類號(hào) | G01N29/26(2006.01)I;G01N29/28(2006.01)I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 聶延偉;宋婉瀟;楊國(guó)牛;薛翔;夏啟飛;劉榮輝 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 西安西谷微電子有限責(zé)任公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京東靈通專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 西安西谷微電子有限責(zé)任公司 |
| 地址 | 710000陜西省西安市高新區(qū)錦業(yè)路69號(hào)創(chuàng)業(yè)園A區(qū)12號(hào)現(xiàn)代企業(yè)中心東區(qū)2-10402 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供了超聲波掃描顯微鏡檢測(cè)系統(tǒng)器件定位裝置，包括檢測(cè)平臺(tái)和耦合介質(zhì)槽，耦合介質(zhì)槽內(nèi)設(shè)置與檢測(cè)平臺(tái)邊緣位置相應(yīng)的固定點(diǎn)，使檢測(cè)平臺(tái)對(duì)應(yīng)固定點(diǎn)放置于耦合介質(zhì)槽內(nèi)時(shí)，檢測(cè)平臺(tái)的中心點(diǎn)與耦合介質(zhì)槽的中心點(diǎn)重合；檢測(cè)平臺(tái)上圍繞中心點(diǎn)的位置固定待測(cè)塑封電子元器件。本實(shí)用新型的檢測(cè)系統(tǒng)器件定位裝置能夠?qū)⑵骷?zhǔn)確定位，提高檢測(cè)速率。?? |
