一種含有過載限位裝置的電容式加速度傳感器及其制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610589605.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN106248993B 公開（公告）日 2019-06-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN106248993B 申請(qǐng)公布日 2019-06-21
分類號(hào) G01P15/125（2006.01）I; G01P15/08（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 朱二輝; 周志健; 陳磊; 楊力建; 鄺國(guó)華 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海芯赫科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣東莞信律師事務(wù)所 代理人 廣東合微集成電路技術(shù)有限公司
地址 523000 廣東省東莞松山湖高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)新竹路4號(hào)新竹苑6幢辦公501
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種含有過載限位裝置的電容式加速度傳感器，包括晶圓硅襯底，質(zhì)量塊，以及至少一個(gè)過載限位裝置，過載限位裝置由限位擋板和第二連接件組成，限位擋板一端與晶圓硅襯底相連，一端自由；第二連接件一端與晶圓硅襯底相連，一端與質(zhì)量塊相連。本發(fā)明還提供一種含有過載限位裝置的電容式加速度傳感器的制造方法。限位擋板的厚度及限位距離由刻蝕工藝的刻蝕深度決定，整個(gè)晶圓的加工一致性好，采用機(jī)械限位結(jié)構(gòu)，省去電學(xué)限位結(jié)構(gòu)的復(fù)雜控制IC，從而保證限位過載保護(hù)的精確性，利于成品小型化。