一種用于檢測石英舟的裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021339564.5 申請日 -
公開（公告）號 CN212274847U 公開（公告）日 2021-01-01
申請公布號 CN212274847U 申請公布日 2021-01-01
分類號 G01B5/28;G01B5/245;G01B5/252;G01B5/06;G01B5/14 分類 測量；測試;
發(fā)明人 藍(lán)呈 申請（專利權(quán)）人 上海強(qiáng)華實(shí)業(yè)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 201507 上海市金山區(qū)漕涇鎮(zhèn)亭衛(wèi)公路3312號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種用于檢測石英舟的裝置，包括水平放置的檢測臺、以及放置于檢測臺上的高度尺、標(biāo)準(zhǔn)校驗(yàn)塊和石英舟；所述高度尺水平放置于檢測臺上，高度尺的游標(biāo)上通過連接桿與平板連接，所述標(biāo)準(zhǔn)校驗(yàn)塊放置于平板的下方，平板通過沿高度尺下滑至標(biāo)準(zhǔn)校驗(yàn)塊的頂面來校對平面度和高度尺寸；所述石英舟水平放置于檢測臺上，校對后的平板沿高度尺推入石英舟的槽齒中，以驗(yàn)證石英舟的精度。本實(shí)用新型在高度尺的基礎(chǔ)上增加連接桿、平板和標(biāo)準(zhǔn)校驗(yàn)塊。平板通過連接桿與高度尺連接，與標(biāo)準(zhǔn)校驗(yàn)塊校對高度，平面度后。進(jìn)行模擬硅片使用狀態(tài)對石英舟4根槽棒垂直度，槽齒的平面度，精度尺寸檢測。檢測成本低、檢測時(shí)間短，檢測步驟簡便，尺寸精度高。