一種屏下陰極材料的去除系統(tǒng)及去除方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210015146.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN114346446A 公開(kāi)（公告）日 2022-04-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN114346446A 申請(qǐng)公布日 2022-04-15
分類號(hào) B23K26/36（2014.01）I;B23K26/04（2014.01）I;B23K26/06（2014.01）I;B23K26/073（2006.01）I 分類 機(jī)床；不包含在其他類目中的金屬加工;
發(fā)明人 白丹妮 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 珠海東輝半導(dǎo)體裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京華際知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 鄧大文
地址 519000廣東省珠海市高新區(qū)唐家灣鎮(zhèn)金園一路6號(hào)5棟1層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種屏下陰極材料的去除系統(tǒng)，包括：激光發(fā)射器，激光發(fā)射器用于發(fā)射激光；二維可調(diào)狹縫組件，二維可調(diào)狹縫組件用于將激光整形為矩形光斑或線形光斑；管鏡，管鏡位于二維可調(diào)狹縫組件遠(yuǎn)離激光發(fā)射器的一端，用于將矩形光斑或線形光斑進(jìn)行聚焦；物鏡，物鏡位于管鏡遠(yuǎn)離二維可調(diào)狹縫組件的一端，用于將聚焦后的矩形光斑或線形光斑進(jìn)行成像；真空腔體，真空腔體位于物鏡遠(yuǎn)離管鏡的一端，其內(nèi)部用于放置屏體。本發(fā)明在真空環(huán)境下，利用精確可調(diào)節(jié)的紅外激光能量和重力作用，使冗余的陰極材料脫離屏體，且超快激光脈寬極短，熱效應(yīng)小，可實(shí)現(xiàn)“冷加工”，從而可實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)的選擇性加工，又可避免對(duì)陰極層相鄰結(jié)構(gòu)造成熱損傷和破壞。