法珀傳感器及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201711269044.4 申請日 -
公開（公告）號 CN109870255A 公開（公告）日 2019-06-11
申請公布號 CN109870255A 申請公布日 2019-06-11
分類號 G01L1/24（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 張立喆; 林春 申請（專利權(quán)）人 北京佰為深科技發(fā)展有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京市柳沈律師事務(wù)所 代理人 北京佰為深科技發(fā)展有限公司
地址 100085 北京市海淀區(qū)上地信息路12號中關(guān)村發(fā)展大廈D308
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及法珀傳感器及其制造方法。法珀傳感器包括：基部；腔體，形成在所述基部和壓力敏感膜片之間，且由基部和壓力敏感膜片封閉；所述壓力敏感膜片，固定到所述基部，其中，所述壓力敏感膜片具有一個或多個局部區(qū)域，每一個局部區(qū)域具有摻雜到壓力敏感膜片的基礎(chǔ)材料中以產(chǎn)生應(yīng)力的摻雜物質(zhì)，任一局部區(qū)域不貫穿壓力敏感膜片的整個厚度，所述壓力敏感膜片在所述應(yīng)力的作用下呈現(xiàn)波狀構(gòu)造；光纖，用于傳導(dǎo)光信號，所述光纖的一個端部固定到基部的光纖安裝部，所述光纖安裝部位于基部的、與所述腔體相對的端部處。