一種硅基底3-6μm紅外窗口片
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010483854.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN111812753A | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-10-23 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111812753A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-10-23 |
| 分類(lèi)號(hào) | G02B1/113;C23C14/08;C23C14/30;G01J5/02 | 分類(lèi) | 光學(xué); |
| 發(fā)明人 | 潘安練 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 湖南麓星光電科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 長(zhǎng)沙市融智專(zhuān)利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 鐘丹;魏娟 |
| 地址 | 410082 湖南省長(zhǎng)沙市岳麓區(qū)麓山南路2號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種硅基底3?6μm紅外窗口片，所述紅外窗口片以單晶硅為基底，所述基底兩側(cè)均鍍有單層的增透膜，所述增透膜選自一氧化硅膜或氧化釔膜，本發(fā)明以單晶硅作為基底，選擇一氧化硅或者氧化釔作為增透膜材料，意外的發(fā)現(xiàn)在特定的厚度下（一氧化硅增透膜的厚度為0.537?0.696μm，氧化釔增透膜的厚度為0.502?0.689μm），只需兩側(cè)均采用單層的增透膜結(jié)構(gòu)，即可使紅外窗口片在3?6μm的紅外波段平均透過(guò)率≥90％，極值透過(guò)率≥98％；而在優(yōu)選的方案中，所述紅外窗口片在3?6μm的紅外波段平均透過(guò)率≥90％，極值透過(guò)率≥99.6％。本發(fā)明采用單層增透膜卻達(dá)到了現(xiàn)有技術(shù)中需要設(shè)置多層增透膜才能達(dá)到的紅外窗口的使用效果。 |
