硒化鉛光敏薄膜及可集成光電導(dǎo)傳感器的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111568256.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114284152A 公開（公告）日 2022-04-05
申請(qǐng)公布號(hào) CN114284152A 申請(qǐng)公布日 2022-04-05
分類號(hào) H01L21/368（2006.01）I;H01L21/38（2006.01）I;H01L31/032（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 古瑞琴;高勝國;汪靜;郭海周;楊志博 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 鄭州煒盛電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 鄭州德勤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王莉
地址 450001河南省鄭州市高新技術(shù)開發(fā)區(qū)金梭路299號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種硒化鉛光敏薄膜的制備方法，包括步驟：以可溶性鉛鹽、強(qiáng)堿、硒源和可溶性鹵鹽為原料，采用化學(xué)浴法在襯底上沉積形成鹵素?fù)诫s的硒化鉛薄膜，制得鉛鹽薄膜基片；采用氧化劑溶液對(duì)所述鹵素?fù)诫s的硒化鉛薄膜進(jìn)行化學(xué)氧化，制得氧化薄膜基片，其中，所述氧化劑溶液為H2O2溶液或K2S2O8溶液；采用鹵素混合氣體對(duì)所述氧化薄膜基片進(jìn)行敏化處理使得所述襯底上形成硒化鉛光敏薄膜；其中，所述鹵素混合氣體為鹵氣與N2或O2的混合氣體。由上述方法制備的硒化鉛光敏薄膜能夠提高其光電靈敏度、響應(yīng)速度快和分辨率高，有效延長使用壽命。另外，本發(fā)明還提供一種利用上述硒化鉛光敏薄膜制備可集成光電導(dǎo)傳感器的方法。