高紅外吸收率的復(fù)合膜層結(jié)構(gòu)及熱電堆芯片

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121747428.4 申請日 -
公開(公告)號 CN216081789U 公開(公告)日 2022-03-18
申請公布號 CN216081789U 申請公布日 2022-03-18
分類號 G01J5/14(2006.01)I 分類 測量;測試;
發(fā)明人 古瑞琴;楊志博;任紅軍;郭海周;高勝國 申請(專利權(quán))人 鄭州煒盛電子科技有限公司
代理機構(gòu) 鄭州德勤知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 武亞楠
地址 450001河南省鄭州市高新技術(shù)開發(fā)區(qū)金梭路299號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種高紅外吸收率的復(fù)合膜層結(jié)構(gòu)及熱電堆芯片,所述高紅外吸收率的復(fù)合膜層結(jié)構(gòu)包括氮化硅薄膜層,以及位于所述氮化硅薄膜層上表面的二氧化硅薄膜層;所述熱電堆芯片包括硅襯底、熱氧化層、隔絕層、第一熱電偶層、第一絕緣層、第二熱電偶層、第二絕緣層、電極焊盤層和所述高紅外吸收率的復(fù)合膜層結(jié)構(gòu)。本實用新型能夠大大提高紅外吸收率,并有效降低熱導(dǎo)率,在人體輻射波段具有較高的吸收率。