一種微型定向超聲換能器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201720510931.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN206893630U 公開(kāi)（公告）日 2018-01-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN206893630U 申請(qǐng)公布日 2018-01-16
分類號(hào) H01L41/04;H01L41/18 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 徐利梅;李學(xué)生;秦開(kāi)宇;謝曉梅;其他發(fā)明人請(qǐng)求不公開(kāi)姓名 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 成都泰聲科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都高遠(yuǎn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 成都泰聲科技有限公司
地址 610000 四川省成都市高新區(qū)（西區(qū)）天目路77號(hào)12棟2單元4層425號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)一種微型定向超聲換能器，包括壓電材料層，壓電材料層頂面設(shè)置上電極，壓電材料層底面設(shè)置下電極，上電極頂面覆蓋絕緣層，下電極底面覆蓋二氧化硅層，下電極底面通過(guò)硅襯底支撐。本實(shí)用新型具有體積小，易集成，高效能的優(yōu)點(diǎn)，適于在微型設(shè)備上使用；還可采用MEMS技術(shù)加工。