一種藍(lán)寶石襯底制備工藝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710418780.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN107268081A 公開（公告）日 2017-10-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN107268081A 申請(qǐng)公布日 2017-10-20
分類號(hào) C30B29/20(2006.01)I;C30B15/00(2006.01)I;C30B15/14(2006.01)I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 李順利 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 界首市七曜新能源有限公司
代理機(jī)構(gòu) 安徽信拓律師事務(wù)所 代理人 張加寬
地址 236500 安徽省阜陽(yáng)市界首市工業(yè)園人民路北側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種藍(lán)寶石襯底制備工藝，包括加料，熔化，縮頸生長(zhǎng)，放肩生長(zhǎng)，等徑生長(zhǎng)，尾部生長(zhǎng)步驟。本發(fā)明熔化時(shí)通過兩次升溫、降溫最后再升至熔化溫度以上，減少藍(lán)寶石襯底受熱時(shí)內(nèi)部熱應(yīng)變，進(jìn)而避免裂片，同時(shí)提高高溫條件下的熱導(dǎo)率(外延爐中生長(zhǎng)外延層時(shí)，最高溫度可達(dá)到1300℃)，使藍(lán)寶石襯底自身受熱更為均勻；本發(fā)明制得的藍(lán)寶石襯底內(nèi)部缺陷少，結(jié)晶質(zhì)量高，適合制作大尺寸外延片，能夠有效的避免裂片的發(fā)生。