一種基于雙閉環(huán)的掃描光柵微鏡機(jī)械擺角的控制方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111434331.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114184547A 公開（公告）日 2022-03-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN114184547A 申請(qǐng)公布日 2022-03-15
分類號(hào) G01N21/01（2006.01）I;G01N21/31（2006.01）I;G02B26/08（2006.01）I;G02B26/10（2006.01）I;G05D3/12（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 郝文元;吳珂;黃明洋;周穎;溫曉康 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 重慶川儀自動(dòng)化股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 重慶志合專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 徐傳智
地址 400700重慶市北碚區(qū)人民村1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種基于雙閉環(huán)的掃描光柵微鏡機(jī)械擺角的控制方法，包括以下步驟：S1，在掃描光柵微鏡控制系統(tǒng)中設(shè)定掃描光柵微鏡的目標(biāo)機(jī)械擺角值θset；S2，通過掃描光柵微鏡控制系統(tǒng)采集掃描光柵微鏡的電壓驅(qū)動(dòng)信號(hào)VO和機(jī)械擺角的電壓反饋信號(hào)Vθ；S3，計(jì)算相關(guān)系數(shù)，計(jì)算S2采集的電壓驅(qū)動(dòng)信號(hào)VO與電壓反饋信號(hào)Vθ的相關(guān)系數(shù)；S4，根據(jù)S3計(jì)算的相關(guān)系數(shù)，將電壓驅(qū)動(dòng)信號(hào)的頻率調(diào)整至掃描光柵微鏡諧振頻率的誤差范圍內(nèi)；S5，根據(jù)機(jī)械擺角的電壓反饋信號(hào)Vθ計(jì)算掃描光柵微鏡的實(shí)際機(jī)械擺角值θ；S6，根據(jù)掃描光柵微鏡的實(shí)際機(jī)械擺角值θ與目標(biāo)機(jī)械擺角值θset之間的偏差及偏差變化率，通過模糊PID控制器調(diào)整電壓驅(qū)動(dòng)信號(hào)的幅值。