化學(xué)機械拋光多區(qū)壓力在線控制算法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610139592.4 申請日 -
公開（公告）號 CN105773397B 公開（公告）日 2017-09-29
申請公布號 CN105773397B 申請公布日 2017-09-29
分類號 B24B37/005(2012.01)I;B24B49/16(2006.01)I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 李弘愷;田芳馨;吳云龍;林達義;王同慶;李昆;路新春 申請（專利權(quán)）人 天府清源控股有限公司
代理機構(gòu) 北京清亦華知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 天津華海清科機電科技有限公司;清華大學(xué)
地址 300350 天津市津南區(qū)海河科技園區(qū)聚興道9號，8號樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出一種化學(xué)機械拋光多區(qū)壓力在線控制算法，包括以下步驟：分別獲取拋光頭的各壓力分區(qū)的零點偏移量；根據(jù)拋光頭的各壓力分區(qū)的零點偏移量，分別對CMP拋光頭系統(tǒng)的各路氣壓傳感器的測量值進行修正，并將修正后的測量值作為各路氣壓傳感器的最終輸出值；計算各路氣壓傳感器的最終輸出值與對應(yīng)壓力分區(qū)的預(yù)設(shè)壓力值之間的偏差量；根據(jù)偏差量實時計算CMP拋光頭系統(tǒng)的相應(yīng)電氣比例閥的控制量；根據(jù)控制量對相應(yīng)電氣比例閥的開度進行控制。本發(fā)明的控制算法簡便有效，方便調(diào)節(jié)，同時具有較強的適應(yīng)能力。