一種基于立體偏折束的超精密加工原位測(cè)量裝置和方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110573056.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN113375590A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-09-10 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113375590A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-09-10 |
| 分類號(hào) | G01B11/24（2006.01）I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 任明俊;劉嘉宇;張哲;張?chǎng)稳?/td> | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 霖鼎光學(xué)（上海）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海泰能知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 錢文斌;宋纓 |
| 地址 | 201109上海市閔行區(qū)元江路525號(hào)19幢第3層 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種基于立體偏折束的超精密加工原位測(cè)量裝置和方法，裝置包括立體偏折束系統(tǒng)和計(jì)算機(jī)，所述立體偏折束系統(tǒng)包括一個(gè)投影屏幕和兩臺(tái)相機(jī)，所述投影屏幕用于顯示編碼圖案，所述編碼圖案經(jīng)過(guò)固定于機(jī)床主軸上的待測(cè)加工件表面反射后被所述兩臺(tái)相機(jī)接收；所述計(jì)算機(jī)與所述兩臺(tái)相機(jī)相連，用于采集所述兩臺(tái)相機(jī)接收到的圖像信息，并對(duì)所述圖像信息進(jìn)行處理得到所述立體偏折束系統(tǒng)的參數(shù)，并基于所述立體偏折束系統(tǒng)的參數(shù)計(jì)算所述待測(cè)加工表面的法向量，并通過(guò)計(jì)算所述法向量的積分獲取所述待測(cè)加工表面的形貌。本發(fā)明避免了重復(fù)裝夾誤差對(duì)超精密加工的影響。 |
