一種MEMS深度力矢量及位置傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011327170.2 申請日 -
公開（公告）號 CN112556894A 公開（公告）日 2021-03-26
申請公布號 CN112556894A 申請公布日 2021-03-26
分類號 G01L1/14;G01L1/20;G01B7/00;G06F3/0354 分類 測量；測試;
發(fā)明人 李志偉;陳珂 申請（專利權）人 四川省機械技術服務中心有限責任公司
代理機構 成都虹盛匯泉專利代理有限公司 代理人 周永宏
地址 610000 四川省成都市經濟技術開發(fā)區(qū)（龍泉驛區(qū)）星光中路12號3層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種MEMS深度力矢量及位置傳感器，包括安裝板、彈性支撐、基板、微凸點陣、接觸凸點和陣列式接觸傳感器，基板的上部與接觸凸點相連，基板的下部通過彈性支撐與安裝板相連，微凸點陣位于基板的底部，陣列式接觸傳感器位于安裝板上且位于相鄰彈性支撐之間，外部作用力作用在接觸凸點上，接觸凸點產生變形，同時微凸點陣與陣列式接觸傳感器接觸從而測算出外部作用力的作用點、大小和方向。本發(fā)明所提供的一種MEMS深度力矢量及位置傳感器，采用深度傳感器作用原理，MEMS層通過接觸彈性微凸點位置可確定力矢量方向，電子層通過觸點相對位置，接觸斑得到力的大小?？梢酝瑫r測量力矢量、作用位置和大小。方法簡便可靠，應用領域廣泛。