一種熱原子束流分布的測(cè)量裝置及方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202210289638.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN114689556A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114689556A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-07-01 |
| 分類號(hào) | G01N21/64（2006.01）I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 韓蕾;薛瀟博;朱匯;張璐;申彤;申超;張升康;葛軍 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京國(guó)昊天誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 100854北京市海淀區(qū)永定路50號(hào)142信箱408分箱 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請(qǐng)公開(kāi)了一種熱原子束流分布的測(cè)量裝置及方法，利用激光與原子的共振躍遷譜線，通過(guò)測(cè)量熒光信號(hào)強(qiáng)度，獲取原子束流沿出射路徑的分布。原子爐口及準(zhǔn)直狹縫等物理結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)影響了原子束流的分布，目前物理結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)僅以原子束流分布的仿真結(jié)果為依據(jù)，實(shí)驗(yàn)測(cè)量原子束流的分布不僅對(duì)原子爐口設(shè)計(jì)進(jìn)行了工程驗(yàn)證，而且對(duì)爐口的加工裝配情況進(jìn)行了工程測(cè)試。此外，為優(yōu)化爐口的參數(shù)設(shè)計(jì)進(jìn)一步改善原子束流分布提供了實(shí)驗(yàn)參考。根據(jù)實(shí)測(cè)的原子束流分布驗(yàn)證并優(yōu)化物理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，抑制原子束流的發(fā)散角，改善原子束流的準(zhǔn)直特性，有利于減少原子損失、提高原子利用效率、增加原子使用壽命，推動(dòng)對(duì)原子束流分布的監(jiān)測(cè)和控制。 |
