深紫外光調(diào)制反射光譜儀及其應(yīng)用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210401244.5 申請日 -
公開（公告）號 CN114689525A 公開（公告）日 2022-07-01
申請公布號 CN114689525A 申請公布日 2022-07-01
分類號 G01N21/25（2006.01）I;G01N21/64（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 譚平恒;劉雪璐 申請（專利權(quán)）人 中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所
代理機(jī)構(gòu) 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 代理人 -
地址 100083北京市海淀區(qū)清華東路甲35號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開提供一種深紫外光調(diào)制反射光譜儀，包括：激光泵浦模塊，至少包括第一激光器；探照光模塊，沿光路方向依次包括寬譜光源、入射單色儀、探照光斬波器；真空樣品腔模塊，沿泵浦光路方向依次包括第一激光器入射窗口、泵浦光斬波器、透鏡組、待測樣品，沿探照光路方向依次包括探照光入射窗口、第一平面反射鏡、第一拋物面反射鏡、待測樣品、第二拋物面反射鏡、第二平面反射鏡、反射光出射窗口；信號采集模塊，沿光路方向依次包括出射單色儀、探測器、鎖相放大器和信號處理裝置，用于采集反射光信號并進(jìn)行分析處理。本公開的光調(diào)制反射光譜儀適用于深紫外波段，可廣泛用于超寬禁帶半導(dǎo)體材料的電子能帶結(jié)構(gòu)研究。