一種觸控傳感器的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910067496.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN109799934B 公開（公告）日 2022-06-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN109799934B 申請(qǐng)公布日 2022-06-28
分類號(hào) G06F3/044（2006.01）I;C23C14/24（2006.01）I;C23C14/04（2006.01）I 分類 計(jì)算；推算；計(jì)數(shù);
發(fā)明人 周群飛;焦超 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 藍(lán)思科技（長沙）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 410100湖南省長沙市長沙經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)漓湘路99號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種觸控傳感器的制備方法，通過真空熱蒸鍍工藝在基板表面的可視區(qū)域設(shè)置導(dǎo)電膜層以及基板表面的非可視區(qū)域設(shè)置引線。使用真空熱蒸鍍工藝設(shè)置導(dǎo)電膜層以及引線時(shí)，僅僅需要先將基板放置在蒸發(fā)臺(tái)內(nèi)，再在真空環(huán)境中使用具有對(duì)應(yīng)鏤空?qǐng)D案的掩膜版對(duì)基板進(jìn)行掩膜，最后通過加熱靶材生成相應(yīng)的氣體，通過掩膜版在基板表面沉積預(yù)設(shè)結(jié)構(gòu)的導(dǎo)電膜層以及引線即可。相比于現(xiàn)有技術(shù)中包括設(shè)置導(dǎo)電層、在導(dǎo)電層表面涂布光阻、對(duì)光阻進(jìn)行顯影、曝光、再刻蝕導(dǎo)電層的黃光工藝，可以極大的減少制作步驟，從而降低觸控感應(yīng)器的制作成本。