碳化硅晶棒多線切割方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910114125.X 申請日 -
公開（公告）號 CN109760223B 公開（公告）日 2021-08-31
申請公布號 CN109760223B 申請公布日 2021-08-31
分類號 B28D5/04;B28D7/00 分類 加工水泥、黏土或石料;
發(fā)明人 卓廷厚;羅求發(fā);黃雪潤 申請（專利權(quán)）人 廈門芯光潤澤科技有限公司
代理機構(gòu) 廈門仕誠聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 吳圳添
地址 361000 福建省廈門市火炬高新區(qū)火炬園火炬路56-58號火炬廣場南樓203-76
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種碳化硅晶棒的多線切割方法，包括：對碳化硅晶棒的端面進行應(yīng)力狀態(tài)檢測，選出具有壓應(yīng)力的壓應(yīng)力型端面；在所述壓應(yīng)力型端面粘貼碟形陪片；對粘貼有所述碟形陪片的所述碳化硅晶棒進行多線切割，粘貼有所述碟形陪片的晶片成為端面晶片；分離所述碟形陪片和所述端面晶片。所述碳化硅晶棒的多線切割方法提高碳化硅晶棒的端面晶片質(zhì)量和良品率，降低碳化硅晶片的加工成本。