一種晶體生長(zhǎng)時(shí)下軸對(duì)坩堝的柔性降溫結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201210074340.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN103305901B 公開(kāi)(公告)日 2016-10-05
申請(qǐng)公布號(hào) CN103305901B 申請(qǐng)公布日 2016-10-05
分類(lèi)號(hào) C30B11/00(2006.01)I 分類(lèi) 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 劉朝軒;王晨光 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 鑫融基投資擔(dān)保有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 471009 河南省洛陽(yáng)市國(guó)家高新技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)金鑫路2號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種晶體生長(zhǎng)時(shí)下軸對(duì)坩堝的柔性降溫結(jié)構(gòu),涉及一種晶體材料的生長(zhǎng)設(shè)備,包括下軸(12)、管路(13)和附加管(19),在下軸(12)的內(nèi)壁或外壁設(shè)有附加管(19),所述附加管(19)與下軸(12)的內(nèi)壁或外壁之間具有間隙(20);管路(13)間隔設(shè)置在下軸(12)內(nèi)附加管(19)的內(nèi)孔(21)內(nèi)或管路(13)間隔設(shè)置在附加管(19)包裹的下軸(12)內(nèi);本發(fā)明通過(guò)在下軸的外部或內(nèi)部添加附加管,由附加管形成對(duì)坩堝下部空間的低溫影響得到減小,有效地使熱能散失問(wèn)題得到控制,實(shí)現(xiàn)了熱能溫度的最大化利用的目的。